一、環境影響報告書信息公示說明

合肥先微半導體材料有限公司高純電子氣體新材料項目（重新報批）位于合肥新站高新技術產業開發區珠城西路與通寶路交口西北角。

合肥先微半導體材料有限公司擬投資50205.9萬元建設生產線，項目實施后新增生產能力：

1、純化：四氯化硅（4N）300噸/年、三氯化硼（5N）200噸/年、二氯硅烷（4N）200噸/年、三氟化氮（5N）500噸/年、氮氣（6N）300噸/年、氬氣（6N）300噸/年、氦氣（6N）10噸/年、二氧化碳（5N）100噸/年、氧氣（6N）200噸/年、氫氣（6N）20噸/年；

2、混配：磷烷+氫氣混合氣3000瓶/年、乙硼烷+氫氣混合氣3000瓶/年、氟氣+氮氣混合氣（1900瓶/年，100臺管束車/年）、準分子激光氣28000瓶/年（其中193波長激光氣0.95%F₂+3.5%Ar+Ne 2400瓶/年，13.5%Ar+10ppmXe+Ne 12400瓶/年；248波長激光氣0.95%F₂+1.25%Kr+Ne 2400瓶/年；308波長激光氣4.5%HCl+1%H₂+Ne 2400瓶/年，0.5%HCl+Ne 2400瓶/年，100ppm-10%H₂+Ne 6000瓶/年）；

3、分裝：二氧化碳10000噸/年、液氮/氮氣3000噸/年、液氬/氬氣3000噸/年、液氦/氦氣50噸/年；

4、設備配套：超潔凈鋼瓶年處理20000只/年；

根據《環境影響評價公眾參與辦法》，現將項目環評報告及公眾參與說明（見附件）進行報批前公示。

二、建設單位及聯系方式

建設單位：合肥先微半導體材料有限公司

聯系電話：18855771303

聯系人：孫總

聯系地址：合肥新站高新技術產業開發區珠城西路與通寶路交口西北角

三、環評單位及聯系方式

評價機構：合肥市斯康環境科技咨詢有限公司

聯系方式：0551-65614551

聯系人：高工

聯系地址：安徽省合肥市包河經開區北京路與大連路交口安徽檢驗檢測科技園（質谷孵化器二期）6#樓501室

通過網盤分享的文件：先微批前公示.zip

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